[实用新型]一种晶片载盘搬运装置有效
| 申请号： | 202121651164.2 | 申请日： | 2021-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN214934006U | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 黄显林;黄彩颖 | 申请（专利权）人： | 深圳思博睿智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91;B65G47/90;B65G35/00 |
| 代理公司： | 广东有知猫知识产权代理有限公司 44681 | 代理人： | 程文栋 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶片载盘搬运装置，包括：支架、X轴运动滑轨、Z轴运动滑轨和晶片载盘，所述支架底部通过螺钉固定连接有支架底板，所述支架顶部通过螺钉固定连接有X轴运动滑轨，所述X轴运动滑轨一侧通过滑块滑动连接有Z轴运动滑轨，所述Z轴运动滑轨一侧通过滑块滑动连接有夹爪固定板，本实用新型在Z轴运动滑轨带动夹爪升降的过程中，在夹爪与晶片载盘接触之前，晶片吸嘴首先与晶片载盘相接触，此时Z轴运动滑轨带动夹爪继续下降，此时导柱导套组件内部的弹簧受压缩，进行缓冲，保护了晶片载盘不受夹爪的碰撞，大大提高了整个搬运装置的运行稳定性与安全可靠性，保证了搬运效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 搬运 装置 | ||
【主权项】：
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