[实用新型]一种精密的半导体光刻设备

摘要

本实用新型提供了一种精密的半导体光刻设备，本实用新型涉及光刻设备技术领域，精密的半导体光刻设备，包括机台、转动机构、升降机构和激光刻头，机台上表面中心开有储物槽，转动机构位于储物槽内，升降机构位于机台上方，激光刻头安装于升降机构内侧；机台上表面外围固定有若干个呈环形分布的定位盘，每个定位盘靠近机台中心的一侧内壁均固定有固定夹块，且每个定位盘靠近机台中心的一侧外壁均开有螺孔，螺孔与定位盘内部相通；本实用新型的有益效果在于：有利于半导体热板光刻更精确，有利于激光刻头不间断地对多个半导体热板进行光刻处理，可提高该光刻设备的工作效率，方便工作人员将光刻好的半导体热板从定位盘内取出。