[实用新型]一种真空掩膜镀膜装置有效
| 申请号： | 202121687783.7 | 申请日： | 2021-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN215288943U | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 陈维强;韩涵;张鹤仙;黄国保;王存辉;范卫芳 | 申请（专利权）人： | 陕西众森电能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人： | 逯长明;许伟群 |
| 地址： | 710018 陕西省西安*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种真空掩膜镀膜装置，该装置包括：掩膜板，承载板和固定部件，固定部件包括边框，设置在边框上的若干弹簧针固定条，设置在弹簧针固定条上的若干弹簧针组件；承载板和固定部件通过连接组件连接，掩膜板设置在承载板和固定部件之间，通过调整承载板和固定部件之间的距离，将弹簧针组件压设在掩膜板上，并将掩膜板固定在承载板上。使用该装置对待镀膜样品在真空镀膜设备中进行掩膜镀膜时，弹簧针组件始终对掩膜板保持足够的压力，使位于承载板和掩模版之间的待镀膜样品表面与掩膜板紧密贴合，避免发生掩膜镀膜镂空图案的绕镀和阴影现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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