[实用新型]用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置有效
| 申请号： | 202121732799.5 | 申请日： | 2021-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN215895218U | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 洪文庆 | 申请（专利权）人： | 锐捷光电科技（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345 | 代理人： | 丰叶 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市张家*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置，包括基座，所述基座上方一侧设有垫板，所述垫板上方一侧设有若干垫块，所述垫块上方设有支撑板，所述支撑板上方设有若干垫片，所述垫片上方位于所述支撑板相邻一侧设有推板，所述推板一侧与第一气缸输出端固定连接，所述基座一端设有立板，所述立板上方一侧设有安装板，所述安装板上方固定连接有第二气缸。本实用新型通过推板与挡板，挡板上的滚筒方便移动板件的位置将板件位置固定，方便对板件进行定位，并且通过设置独立的垫片，并在支撑板上设置通风口，通风口与垫片可以配合时板件下方空间流通，从而有效降低板件的温度，方便生产工作，提高生产质量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 蓝宝石 衬底 加工 曝光 保持 装置 | ||
【主权项】：
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