[实用新型]一种高纯钌靶生产用打磨装置有效
| 申请号： | 202121742337.1 | 申请日： | 2021-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN216138727U | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 王永超;居炎鹏;赵泽良;仝红岩;王留土;郑海强;史豪杰;陈耘田;郭利乐;刘占军;李伟 | 申请（专利权）人： | 河南东微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06;B24B55/00 |
| 代理公司： | 郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 41149 | 代理人： | 关璐琪 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市郑州航空港区*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种高纯钌靶生产用打磨装置，包括底板，所述底板上表面的四角处设置有支撑柱，所述支撑柱的顶部固定有支撑板，所述支撑板的底部固定连接有打磨机构；所述底板的上表面的前后两侧均开设有水平的凹槽，所述凹槽内转动连接有双向螺纹杆，两个所述双向螺纹杆的左端均延伸至所述底板的外侧，且两者之间通过皮带传动连接，其中一个双向螺纹杆上设置有自锁式手轮；所述双向螺纹杆上螺纹旋向相反的部分上分别设置有移动块，所述移动块与所述双向螺纹杆之间螺纹连接且其卡设在所述凹槽内，所述移动块的上表面设置有伸缩机构，前后两个对应的伸缩机构之间设置有水平的安装杆，所述安装杆上套装有用于紧固靶材的夹持组件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 生产 打磨 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河南东微电子材料有限公司，未经河南东微电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202121742337.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：雾化主机及气溶胶产生装置
- 下一篇：耻骨前列腺韧带缝扎辅助针道引导哈巴狗夹
