[实用新型]一种镀膜用载具及镀膜设备有效
申请号: | 202121754978.9 | 申请日: | 2021-07-30 |
公开(公告)号: | CN216404512U | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
发明(设计)人: | 陶利松;程俊华 | 申请(专利权)人: | 杭州乾智新材料研究有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/50 |
代理公司: | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人: | 黎双华 |
地址: | 311258 浙江省杭州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型属于镀膜技术领域,尤其涉及一种镀膜用载具及镀膜设备;其中,镀膜用载具,包括:承载座,用于承载待镀膜的基材;掩膜板,具有一个或多个镀膜口;掩膜板盖设于基材之上并固定安装于承载座,以通过镀膜口对基材的目标位置进行镀膜;其中,掩膜板具有提拉部;通过机械提拉或磁力作用于掩膜板的提拉部,以使掩膜板脱离基材。本实用新型的镀膜用载具,在掩膜板上设计提拉部,放置或者移开掩膜板时,手指或机械手或利用磁力作用可抓取提拉部,可避免触碰基材,进而避免基材表面被划伤,避免镀膜产品报废。 | ||
搜索关键词: | 一种 镀膜 用载具 设备 | ||
【主权项】:
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