[实用新型]圆形平面阴极挡板有效
| 申请号： | 202121768836.8 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN215404486U | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 张奇龙;李伟 | 申请（专利权）人： | 杭州朗为科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 刘慧 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市余*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种圆形平面阴极挡板，其结构包括支撑杆、挡板和连接机构，其特征在于连接机构设置在支撑杆上，连接机构包括了固定连接装置和转动连接装置，挡板通过固定连接装置与支撑杆连接，转动连接装置与磁控阴极相连接。通过固定连接装置多点固定挡板，来防止摩擦力降低后挡板相对支撑杆转动的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 圆形 平面 阴极 挡板 | ||
【主权项】：
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