[实用新型]一种光伏电池用硅片载具清洗设备有效
| 申请号： | 202121769605.9 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN216397396U | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 郭观林;张威;李斯;李斌 | 申请（专利权）人： | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;H01L31/18;H01L21/673 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 戴玲 |
| 地址： | 410205 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光伏电池用硅片载具清洗设备，包括工作台、移动模组、和清洗机构，移动模组设于工作台上，清洗机构设于移动模组上，清洗机构包括激光发生器、光学整形镜组、聚焦透镜和扫描振镜，激光发生器通过光纤与光学整形镜组连接，光学整形镜组用于将激光发生器生成的激光整形成平行光束，聚焦透镜用于对整形后的激光进行聚焦，扫描振镜用于接收聚焦后的点光束，并带动点光束移动。本实用新型采用激光清洗方式实现板框的沉积薄膜去除，清洗效率高，不会对环境造成污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电池 硅片 清洗 设备 | ||
【主权项】：
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