[实用新型]环保的硅环干燥装置有效
| 申请号： | 202121789578.1 | 申请日： | 2021-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN215490697U | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 张佳琪 | 申请（专利权）人： | 江苏宏芯时代半导体有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B21/14;F26B25/00 |
| 代理公司： | 江苏智天知识产权代理有限公司 32550 | 代理人： | 何源 |
| 地址： | 225411 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种环保的硅环干燥装置，针对干燥后无法对异丙醇和氮气进行循环使用的问题，提供了以下技术方案，包括用于干燥硅环的干燥室、与干燥室连接用于气化异丙醇的异丙醇加热器、与干燥室连接的氮气加热器，还包括与干燥室连接用于液化异丙醇蒸汽的冷凝组件、与冷凝组件连接用于分离异丙醇和水的异丙醇蒸馏室、与异丙醇蒸馏室连接用于分离氮气和异丙醇气体的氮气回收组件，异丙醇蒸馏室连接用于回收异丙醇的异丙醇回收管，异丙醇和氮气经过冷凝组件进入异丙醇蒸馏室，分馏出异丙醇气体，氮气回收组件滤出氮气并收集，剩余的异丙醇进入异丙醇回收管中后收集。 | ||
| 搜索关键词： | 环保 干燥 装置 | ||
【主权项】：
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