[实用新型]一种用于银饰品表面处理的原子层沉积装置外壳

摘要

本实用新型提供了一种用于银饰品表面处理的原子层沉积装置外壳，包括外筒，连接在外筒下端的底盖，连接在底盖下端的底座，以及盖设在外筒上端的上盖，所述外筒内设置有内筒，内筒的上端盖设有筒盖，内筒的内底壁上设置有沉槽，且沉槽上盖设有匀气盘，沉槽的下端贯通连接有支撑管，支撑管连接在底盖上，且收集管穿过底盖并与支撑管贯通连接。本实用新型克服了现有技术的不足，设计合理，结构紧凑，通过采用一系列的结构设计，能够对多余的前驱体源废气进行收集，防止在内筒中堆积，采用内外筒的结构设计，能够提高很好的保温效果，同时也能提高密封效果。