[实用新型]用于ITO管状靶材清洗防碰撞装置有效
| 申请号： | 202121823484.1 | 申请日： | 2021-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN216137777U | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 柯尚文;周传水;李隽;余永强 | 申请（专利权）人： | 广东凯盛光伏技术研究院有限公司;中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 蔡旭晟 |
| 地址： | 528137 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于ITO管状靶材清洗防碰撞装置，包括吊篮箱、防碰架，吊篮箱的底板上均匀分布列有进水孔；防碰架装入吊篮箱内，防碰架内均匀分布有固定管腔，固定管腔纵向贯穿过防碰架，固定管腔两端开口于防碰架的上顶面和下底面；固定管腔的内径大于管状靶材外径；使用时，将防碰架放入吊篮箱内，将待清洗ITO管状靶材插入防碰架的固定管腔中，用电动葫芦起重机将吊篮起吊转移进超声波清洗池中进行清洗；完成超声清洗后，靶材没有发生碰撞而崩角或开裂现象，靶材表面洁净。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 ito 管状 清洗 碰撞 装置 | ||
【主权项】：
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