[实用新型]一种晶圆抛光检测工装有效
| 申请号： | 202121828281.1 | 申请日： | 2021-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN215847489U | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 贺贤汉;佐藤泰幸;原英樹;杉原一男 | 申请（专利权）人： | 上海申和投资有限公司 |
| 主分类号： | B24B27/00 | 分类号： | B24B27/00;B24B55/04;B24B41/06;B24B47/04;B24B47/12 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 201900 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆抛光检测工装，包括防护壳体，所述防护壳体的一端设有封闭结构，所述防护壳体内部的一端固定连接有连接架，且连接架的顶端固定连接有固定结构，所述防护壳体内部的底端固定连接有移动结构，所述移动结构的顶端固定连接有打磨结构。本实用新型通过封闭结构便于避免安全隐患，且可以实时的观察打磨过程；抛光的过程，是通过较精细的打磨头打磨晶圆片的表面，使得晶圆片的表面光滑有光泽，打磨的过程高速摩擦会产生火花，火花会产生安全隐患，封闭结构的作用是挡住四溅的火花，封闭结构的工作原理是通过拉动观察窗底部的拉环，使得固定卡扣和固定卡槽卡合固定，弹性元件的作用是自动把观察窗向上拉起。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 检测 工装 | ||
【主权项】：
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