[实用新型]一种晶圆片腐蚀清洗机构有效
| 申请号： | 202121828642.2 | 申请日： | 2021-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN215902324U | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 贺贤汉;杉原一男;佐藤泰幸;原英樹 | 申请（专利权）人： | 上海申和投资有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B3/02;B08B5/04;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 201900 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶圆片技术领域，具体是一种晶圆片腐蚀清洗机构，包括防护壳体，所述防护壳体的顶端设有混合结构，且混合结构的底端设有导料管，所述混合结构和防护壳体之间通过导料管固定连接，所述防护壳体内部的顶端设有撒药结构，所述防护壳体内部的两侧设有抽气结构，所述防护壳体内部的底端固定连接有固定结构，本实用新型能够通过固定结构便于辅助清洗晶圆片，受腐蚀后的晶圆片较脆弱，在清洗的过程中易损坏，且传统固定晶圆片的方式易损坏晶圆片，因为传统的夹持方式在固定时易用力过猛导致晶圆片损坏，固定结构的工作原理是首先把晶圆片放置在固定底座上，再使用两侧的固定卡板压在晶圆片的两侧。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆片 腐蚀 清洗 机构 | ||
【主权项】：
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