[实用新型]一种晶体生长测温装置及晶体生长装置有效

专利信息
申请号: 202121840363.8 申请日: 2021-08-06
公开(公告)号: CN215338598U 公开(公告)日: 2021-12-28
发明(设计)人: 齐红基;王晓亮;陈端阳 申请(专利权)人: 杭州富加镓业科技有限公司
主分类号: G01J5/00 分类号: G01J5/00;C30B28/04;C30B35/00
代理公司: 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 代理人: 温宏梅
地址: 311400 浙江省杭州市富*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种晶体生长测温装置及晶体生长装置,晶体生长测温装置包括:壳体,所述壳体上设置有第一通孔;保温罩,所述保温罩位于所述壳体内,所述保温罩设置有第二通孔;坩埚,所述坩埚位于所述保温罩内;其中,所述第一通孔处设置有红外测温器,所述红外测温器的感温头朝向所述坩埚,所述第一通孔和所述第二通孔均位于所述坩埚和所述感温头之间。本实用新型中通过在壳体上设置红外测温器,且红外测温器的感温头朝向坩埚,第一通孔和第二通孔均位于坩埚和感温头之间,坩埚中熔体辐射的红外线可以依次穿过第二通孔和第一通孔,直接到达红外测温器的感温头,因此,红外测温器可以准确测量坩埚内熔体的温度。
搜索关键词: 一种 晶体生长 测温 装置
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