[实用新型]一种晶体生长测温装置及晶体生长装置有效
申请号: | 202121840363.8 | 申请日: | 2021-08-06 |
公开(公告)号: | CN215338598U | 公开(公告)日: | 2021-12-28 |
发明(设计)人: | 齐红基;王晓亮;陈端阳 | 申请(专利权)人: | 杭州富加镓业科技有限公司 |
主分类号: | G01J5/00 | 分类号: | G01J5/00;C30B28/04;C30B35/00 |
代理公司: | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人: | 温宏梅 |
地址: | 311400 浙江省杭州市富*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种晶体生长测温装置及晶体生长装置,晶体生长测温装置包括:壳体,所述壳体上设置有第一通孔;保温罩,所述保温罩位于所述壳体内,所述保温罩设置有第二通孔;坩埚,所述坩埚位于所述保温罩内;其中,所述第一通孔处设置有红外测温器,所述红外测温器的感温头朝向所述坩埚,所述第一通孔和所述第二通孔均位于所述坩埚和所述感温头之间。本实用新型中通过在壳体上设置红外测温器,且红外测温器的感温头朝向坩埚,第一通孔和第二通孔均位于坩埚和感温头之间,坩埚中熔体辐射的红外线可以依次穿过第二通孔和第一通孔,直接到达红外测温器的感温头,因此,红外测温器可以准确测量坩埚内熔体的温度。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 测温 装置 | ||
【主权项】:
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