[实用新型]一种半导体检验装置有效
申请号: | 202121864405.1 | 申请日: | 2021-08-10 |
公开(公告)号: | CN215526025U | 公开(公告)日: | 2022-01-14 |
发明(设计)人: | 陈辰;宋杰;罗官 | 申请(专利权)人: | 山东省赛富电子有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26 |
代理公司: | 济南尚本知识产权代理事务所(普通合伙) 37307 | 代理人: | 董洁 |
地址: | 277800 山东省枣*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种半导体检验装置,包括检测箱,检测箱的内腔设有除尘机构,氮气发生器固定连接于检测箱的背部,导管固定连接于氮气发生器的顶端,六个支管固定连接于导管的外端,进气网固定连接于检测箱的内壁中,进气网与支管相导通,泄气网固定连接于检测箱的外端,泄气网与检测箱相导通,滤棉固定连接于滤板的内腔中,通过设置的氮气发生器产生氮气,并将产生的氮气通过导管与支管传入到检测箱的内腔中,氮气不仅能够对半导体进行除尘,同时也能够对检测箱的内部进行除尘,从而防止灰尘附着在半导体的外端造成半导体污染,并且对半导体进行除尘增强光谱检测仪检测效率的同时也使得聚焦摄像头对半导体的拍摄更加清晰。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 检验 装置 | ||
【主权项】:
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