[实用新型]磁控溅射镀膜生产线系统有效
| 申请号： | 202121892260.6 | 申请日： | 2021-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN215856304U | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 陈培绍;王松沛;邱子豪 | 申请（专利权）人： | 中山凯旋真空科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 肖军 |
| 地址： | 528478 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了磁控溅射镀膜生产线系统，包括：多节真空腔体组件，所述真空腔体组件包括负载组件；分控柜，与所述真空腔体组件一一对应，所述分控柜设置有控制模块；控制线缆组，与所述控制模块一一对应，所述控制模块通过所述控制线缆组与所述负载组件电性连接；主控柜，设置有处理模块，所述处理模块与所述控制模块通信连接。不同分控柜的控制线缆组互不干扰，能够简化控制线缆组的排布，并且每节真空腔体组件一一对应设置有分控柜，能够减少控制线缆组走线长度的消耗。在新插入真空腔体组件时，将真空腔体组件与分控柜一起移动，无需拆装控制模块与负载组件之间的控制线缆组，有利于简化操作，节省时间。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 镀膜 生产线 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中山凯旋真空科技股份有限公司，未经中山凯旋真空科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202121892260.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用以连接多功能顶喷的淋浴柱及多功能淋浴器
- 下一篇：一种立式烤肉装置
- 同类专利
- 专利分类
