[实用新型]一种电子束蒸发台源梭子挡板装置有效
| 申请号： | 202121895572.2 | 申请日： | 2021-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN216514091U | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 马溢华;赵志强 | 申请（专利权）人： | 无锡芯谱半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 何磊 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市会*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电子束蒸发台源梭子挡板装置，属于梭子挡板装置技术领域，包括梭子挡板，所述梭子挡板为水滴垂截面结构，且在所述梭子挡板的小直径端一侧设有连接轴，所述连接轴上开设有十字形凹槽，通过水滴型的垂截面结构使其可以具有良好的格挡功能，并采用连接轴上开设有十字形凹槽可以拆卸方便，在梭子挡板一侧沿梭子挡板边线至梭子挡板大直径一端分别设有第一外弧形挡板和第二外弧形挡板可以起到放置反射飞溅出去的金属源跑出的功能，从而高效的实现了遮挡功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 蒸发 梭子 挡板 装置 | ||
【主权项】：
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