[实用新型]一种用于卷绕镀膜设备的清洗模块有效
| 申请号： | 202121915918.0 | 申请日： | 2021-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN215440673U | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 郝明;杜雪峰;李成林 | 申请（专利权）人： | 辽宁分子流科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24;B08B5/02;B08B7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110179 辽宁省沈阳*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于卷绕镀膜设备的清洗模块，主要包括清洗作用面和干冰供应源；清洗作用面设置在卷绕镀膜设备的真空室内，在清洗模块的上方接近清洗作用面的位置上设置有清洗相位；清洗作用面的上表面为内凹的弧形曲面；在清洗作用面的上表面上布置有由多列喷嘴组成的喷嘴阵列，喷嘴的朝向为清洗作用面的上表面的法向方向；移动挡板在移动机构的驱动下移至清洗相位时，清洗模块对移动挡板上的附着物进行真空环境下的清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 卷绕 镀膜 设备 清洗 模块 | ||
【主权项】：
暂无信息
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