[实用新型]腔体真空度调整装置、真空腔体以及真空镀膜机有效
| 申请号： | 202121923046.2 | 申请日： | 2021-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN216378380U | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 蒋毅;刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波;陆其彬 | 申请（专利权）人： | 佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/54 |
| 代理公司： | 广州市律帆知识产权代理事务所(普通合伙) 44614 | 代理人： | 余永文 |
| 地址： | 528000 广东省佛山市南海区狮山镇信息大道南3*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种腔体真空度调整装置、真空腔体以及真空镀膜机；该腔体真空度调整装置，包括：设于真空腔体内的百叶调节机构，以及设于真空腔体外部的驱动装置；所述百叶调节机构安装在真空腔体的抽风口前，并固定在真空腔体内部的侧壁上；所述驱动装置通过传动轴连接所述百叶调节机构；其中所述传动轴与真空腔体外壳之间设有密封装置；所述驱动装置驱动所述传动轴进行转动，控制所述百叶调节机构的叶片的开合度，控制抽真空系统的抽气速度以调整真空腔体内的真空度；该技术方案避免了对真空腔体内部环境污染，为镀膜过程提供稳定良好的真空环境，能够明显提升真空镀膜机的镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 调整 装置 空腔 以及 真空镀膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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