[实用新型]一种晶圆存放盒有效

专利信息
申请号: 202121923215.2 申请日: 2021-08-16
公开(公告)号: CN216288340U 公开(公告)日: 2022-04-12
发明(设计)人: 黄晓辉;周永昌;董琪琪 申请(专利权)人: 飞锃半导体(上海)有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 上海申新律师事务所 31272 代理人: 吴轶淳
地址: 200120 上海市浦东新区中国(上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型属于晶圆领域,具体的说是一种晶圆存放盒,包括外壳,所述外壳的内部固定安装有防护圈,所述防护圈的两侧均固定安装有第一固定螺栓,所述外壳的内部固定安装有固定机构,所述固定机构包括固定板,所述固定板的顶部开设有限位槽,所述固定板的两侧均固定安装有卡扣;通过固定机构、固定板、限位槽、卡扣、卡槽、连接块和第二固定螺栓的配合安装,实现了便于固定晶圆的功能,在使用过程中,可通过把晶圆放置在限位槽,使得限位槽对其晶圆进行固定,而卡扣与卡槽的设置,可以对固定板进行安装和拆卸,在遇到大小不一的晶圆时,可通过拆卸卡扣而达到对固定板拆卸的目的,使其能够便于更换不同型号的固定板,提高了存放盒的使用效率。
搜索关键词: 一种 存放
【主权项】:
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