[实用新型]半导体用高纯石英材料制备设备有效
| 申请号： | 202121925879.2 | 申请日： | 2021-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN215440191U | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 沈恒文;王玮康;唐浩;代悦明;夏美芳 | 申请（专利权）人： | 江苏艾匹克半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00 |
| 代理公司： | 深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司 44504 | 代理人： | 陆婉 |
| 地址： | 214000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种半导体用高纯石英材料制备设备，包括设备本体和与设备本体连通设置的排气口，其特征在于，所述排气口横截面为圆形，所述排气口内固定设置有导流组件，所述导流组件包括外侧的导流筒，所述导流筒固定设置在排气口内部，所述导流筒的外侧与排气口的内壁相贴合，所述导流筒的内壁固定设置有若干均与分布的导流板，相邻的两个所述导流板顶部之间的距离和底部之间的距离相同，借此，本实用新型具有能实现对排气口处流通的气体进行导流的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 高纯 石英 材料 制备 设备 | ||
【主权项】：
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