[实用新型]一种半导体材料用清洗设备

摘要

本实用新型公开了一种半导体材料用清洗设备，包括支撑装置，所述支撑装置的内部固定连接有接取装置，所述支撑装置的内部两端滑动插接有格挡装置，所述接取装置包括辅助垫板、固定底座、中转收纳腔体、传输管和隔离管，所述辅助垫板固定连接在固定底座的顶端，所述中转收纳腔体固定连接在辅助垫板的底端中心，所述隔离管固定连接在中转收纳腔体的顶端中心，所述传输管对称固定连接在中转收纳腔体的底部，所述格挡装置包括固定套筒、挤压弹簧、密封横条、固定支撑架、防护隔板和限位卡条。本实用新型通过接取装置和格挡装置的设置，实现了可有效的防止在清洗半导体时液体向外泄露或飞溅和双向进入物料的工作。