[实用新型]一种薄膜厚度测试治具有效
| 申请号： | 202121945713.7 | 申请日： | 2021-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN215491449U | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 王丽娜;孙丽君;林烜;贺阳;蒋永伟;杨晨 | 申请（专利权）人： | 航天氢能（上海）科技有限公司;上海空间电源研究所 |
| 主分类号： | G01B5/06 | 分类号： | G01B5/06 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 贾慧琴;包姝晴 |
| 地址： | 201108 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种薄膜厚度测试治具，包含：下托片，用于承载薄膜；上托片，用于覆盖在薄膜上方，设有若干条第一刻度线，所述的第一刻度线将上托片分为若干区域；下托片与上托片均透明或半透明；固定装置，用于固定测试状态下所述上托片和所述下托片的相对位置，使两块托片不发生相对滑动。该治具能够在不损伤薄膜的情况下，精确测定薄膜厚度，并且能对薄膜的不同区域的厚度进行精确测定，以比较薄膜不同区域和不同薄膜之间的厚度的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 厚度 测试 | ||
【主权项】：
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