[实用新型]一种晶圆检查机送料装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆检查机送料装置，包括架体，所述架体上安装有侧板，所述侧板上设有升降槽，所述升降槽内安装有螺纹杆和滑块，所述滑块套设在螺纹杆上，所述滑块上安装有挡板。根据刻度线控制挡板的与输送带之间的距离，使得挡板能够根据不同厚度的晶圆进行调节，从而使挡板能够挡住堆积的晶圆，避免出现晶圆堆积导致堆积的晶圆漏掉检查的情况，能够根据不同大小的晶圆控制挡杆的角度，使得输送带上的晶圆一个一个的从挡杆之间送出，这不仅能够降低工人的劳动强度，而且能够提高晶圆的送料效率。