[实用新型]一种物料传输装置及新型固晶流水线有效
申请号: | 202121955771.8 | 申请日: | 2021-08-19 |
公开(公告)号: | CN215680637U | 公开(公告)日: | 2022-01-28 |
发明(设计)人: | 陈平;曾逸 | 申请(专利权)人: | 深圳市卓兴半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L33/62 |
代理公司: | 深圳市添源知识产权代理事务所(普通合伙) 44451 | 代理人: | 于标 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种物料传输装置及新型固晶流水线,该新型固晶流水线包括固晶设备、以及所述物料传输装置,所述固晶设备数量与所述载台数量相同,每个所述固晶设备对应一个所述载台,所述物料为目标基板,所述固晶设备能向被搬运至所述载台上的目标基板上固晶。本实用新型的有益效果是:本实用新型的新型固晶流水线采用固晶设备和物料传输装置串行的排布方式,固晶设备在上,物料传输装置在下,减少了横向的宽度,利于对设备的维护,并且减少了目标基板的搬运距离,提高固晶效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 物料 传输 装置 新型 流水线 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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