[实用新型]一种用于单晶硅晶圆拉制的石英保温盖板有效
| 申请号： | 202121979836.2 | 申请日： | 2021-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN216107314U | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 英浩 | 申请（专利权）人： | 连云港保康石英制品有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 222313 江苏省连云港市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于单晶硅晶圆拉制的石英保温盖板，包括石英盖板、不锈钢杆套和隔层框，所述石英盖板由下石英板、上石英板、透明隔热层和隔层框组成，所述石英盖板内部设置有不锈钢杆套，所述不锈钢杆套由螺栓管和对接套组成。本实用新型采用双层石英板设计，隔音、隔热效果好，且中间填充有气凝胶材料制成透明隔热层，可以提高石英盖板的隔热能力，同时对螺纹孔进行加强，安装时石英盖板不易开裂。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 单晶硅 拉制 石英 保温 盖板 | ||
【主权项】：
暂无信息
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