[实用新型]探针卡、检测装置及晶圆的检测装置有效
| 申请号： | 202122005544.5 | 申请日： | 2021-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN215866990U | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 宋慧;王国峰 | 申请（专利权）人： | 北海惠科半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/04;G01R1/073 |
| 代理公司： | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人： | 邢涛 |
| 地址： | 536000 广西壮族自治区北海市工业园区北*** | 国省代码： | 广西;45 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种探针卡、检测装置及晶圆的检测装置，所述探针卡用于检测待检测产品的待检测部，所述探针卡包括探针卡本体，所述探针卡本体上设置有至少一个探针组；所述探针组包括至少两个探针，一个所述探针组内所有的所述探针用于检测一所述待检测部，一个所述探针组内不同的所述探针之间的间距可调。本申请，通过以上方式提高探针卡的适用性。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 检测 装置 | ||
【主权项】：
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