[实用新型]一种晶棒样片的自动研磨装置有效
申请号: | 202122028701.4 | 申请日: | 2021-08-26 |
公开(公告)号: | CN215881218U | 公开(公告)日: | 2022-02-22 |
发明(设计)人: | 陆海凤;柯尊斌;陶晨 | 申请(专利权)人: | 中锗科技有限公司 |
主分类号: | B24B37/10 | 分类号: | B24B37/10;B24B37/11;B24B37/30;B24B37/34;B24B57/02 |
代理公司: | 南京中律知识产权代理事务所(普通合伙) 32341 | 代理人: | 李建芳 |
地址: | 211299 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种晶棒样片的自动研磨装置,包括配套使用的粗磨装置和精磨装置;粗磨装置包括磨盘、第一连杆装置、升降机构和第一模具;升降机构驱动第一连杆装置上下移动、同时带动第一模具在磨盘上往复移动;第一模具底部设有第一样片槽;精磨装置包括第二连杆装置、石英玻璃板、摆动驱动装置和第二模具;摆动驱动装置驱动第二连杆装置摆动、进而带动第二模具在石英玻璃板上摆动,第二模具底部设有第二样片槽。本实用新型晶棒样片的自动研磨装置,实现了粗磨和精磨的机械化,显著提高了研磨的一致性结和研磨效率,节约了成本,降低了劳动强度,提高了研磨质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 样片 自动 研磨 装置 | ||
【主权项】:
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