[实用新型]一种芯片生产用自动检测厚度的光刻机

摘要

本实用新型公开了一种芯片生产用自动检测厚度的光刻机，包括机体，所述机体的底部设置有底座，所述底座的底部固定连接有移动轮，底座顶部的两侧均开设有限位槽，限位槽内腔的底部固定连接有第一弹簧，第一弹簧的顶部固定连接有限位块，限位块的顶部固定连接有限位杆，限位杆的顶部延伸至底座的顶部并与机体固定连接。本实用新型通过设置机体、底座、移动轮、限位槽、第一弹簧、限位块、限位杆、插槽、螺栓、凹槽、滑杆、第二弹簧、滑套、支撑条、限位轮、压板、压块、电机、螺纹杆、螺纹套和支撑架，解决了现有芯片生产用自动检测厚度的光刻机实用性较低的问题，该芯片生产用自动检测厚度的光刻机，具备实用性高的优点。