[实用新型]一种硅片隐裂检测装置有效
| 申请号： | 202122045958.0 | 申请日： | 2021-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN215640935U | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 欧文凯;向亮睿 | 申请（专利权）人： | 普乐新能源科技（徐州）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01;H01L21/66 |
| 代理公司： | 苏州创策知识产权代理有限公司 32322 | 代理人： | 范圆圆 |
| 地址： | 221000 江苏省徐州市高新技*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种硅片隐裂检测装置，包括底座和视觉检测相机；底座的顶部设有检测口，检测口的内壁上设有供硅片横向插入的插槽，插槽的下方安装有照明灯，底座的两侧设有喷气机构；将硅片插装在检测口之后，可利用喷气机构向硅片表面喷洒高压蒸汽，一方面能清除硅片表面的杂质，避免杂质造成的误判，另一方面硅片的隐裂处在遇到蒸汽时会出现白线，方便视觉检测相机拍照检测；硅片下方的照明灯能使隐裂处的白线显现的更清晰，提高了检测的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 检测 装置 | ||
【主权项】：
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