[实用新型]控制电路及半导体工艺设备有效
| 申请号： | 202122053415.3 | 申请日： | 2021-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN215895654U | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 刘畅;荣延栋;文莉辉 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G08B29/04 | 分类号： | G08B29/04;G08B21/16 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 周永强 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种控制电路及半导体工艺设备，涉及半导体设备领域。一种控制电路包括主回路、检测回路和开关回路；主回路上设有开关件；开关回路和检测回路均与主回路连接，且接入点均位于开关件的上游，开关回路用于通过控制开关件闭合或打开以控制主回路通断；检测回路包括第一支路和第二支路，第一支路用于控制开关回路的通断；第二支路用于与信号采集端连接；在检测回路被触发时，第一支路通过开关回路控制主回路断开，第二支路向信号采集端发送报警信号。一种半导体工艺设备，具备上述控制电路。本申请解决了主回路无法断电或者主回路断电后报警信号无法被采集的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 控制电路 半导体 工艺设备 | ||
【主权项】：
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