[实用新型]双面抛光垫更换装置有效
| 申请号： | 202122053509.0 | 申请日： | 2021-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN215881196U | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 唐林锋;肖进龙;况正东;马金峰;周铁军 | 申请（专利权）人： | 广东先导微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/04 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 张向琨 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本公开提供一种双面抛光垫更换装置，其包括底架、升降杆、支架、至少四个悬臂及多个盘体；升降杆穿入底架；支架包括底板和至少四个轴，底板固定于升降杆，轴围绕底板的中心；各悬臂枢转套设于轴，各悬臂设有凹槽；各盘体设置在悬臂的上表面，各盘体用于支撑双面抛光垫，各盘体的厚度允许手伸入双面抛光垫和悬臂之间；各凹槽内设置有弹性件，弹性件包括帽体和弹簧，帽体具有凹部，弹簧的上端抵靠凹部而弹簧的下端抵靠凹槽，弹簧能够在凹槽内平移和旋转；未放置双面抛光垫时，帽体超出盘体的上表面；放置上双面抛光垫时，弹簧被压缩；弹簧的弹性伸长设置成：在贴双面抛光垫时能够使帽体伸入双面抛光垫的开孔、背胶保护纸的穿孔和上定位盘的供药孔。 | ||
| 搜索关键词： | 双面 抛光 更换 装置 | ||
【主权项】：
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