[实用新型]一种烘箱出料口用硅片降温装置有效
申请号: | 202122058980.9 | 申请日: | 2021-08-30 |
公开(公告)号: | CN216080504U | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
发明(设计)人: | 丁力;吴坤;曹政民;陈春娟;颜亮 | 申请(专利权)人: | 无锡中环应用材料有限公司 |
主分类号: | F25D1/00 | 分类号: | F25D1/00;F25D23/00;F25D29/00 |
代理公司: | 无锡市天宇知识产权代理事务所(普通合伙) 32208 | 代理人: | 周舟 |
地址: | 214200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种烘箱出料口用硅片降温装置,涉及硅片生产设备领域,包括两侧开口的方形箱体,箱体底部设有支架,两条以上水平布置、从烘箱出口伸出的传送带穿过箱体两侧的开口,箱体内设有若干竖直布置的隔板,隔板将传送带一一隔开,隔板将箱体分为两个以上腔室,每个腔室两侧开口处均设有柔性挡板,柔性挡板位于传送带上方,箱体位于传送带下方的两侧开口处均设有侧板,每个腔室顶部和底部均布设有一个风扇,顶部和底部的两风扇同向转动,气流从上至下流动。本实用新型中对烘箱烘干的硅片进行吹风散热,散热效果优良。 | ||
搜索关键词: | 一种 烘箱 出料口用 硅片 降温 装置 | ||
【主权项】:
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