[实用新型]一种真空镀膜设备的冷却装置有效
| 申请号： | 202122094950.3 | 申请日： | 2021-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN216155951U | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 杨林生 | 申请（专利权）人： | 合肥聚盛真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/50 |
| 代理公司： | 合肥三川专利代理事务所(普通合伙) 34150 | 代理人： | 潘光亮 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市经济技*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜设备的冷却装置，涉及真空镀膜设备技术领域，包括真空镀膜箱体，还包括：夹持组件，所述夹持组件包括布置在真空镀膜箱体内的支板，所述支板表面相对布置支座，两侧所述支座间设置紧固螺杆，紧固螺杆与支座通过螺纹连接，两侧紧固螺杆相互远离的一端与手柄固定连接，紧固螺杆远离手柄的一端与夹持板转动连接，以及冷却组件，两侧紧固螺杆在转动的过程中同时朝向工件方向移动，两侧所述夹持板对工件进行夹持固定，循环水泵通过输水管将外界水箱内的水输送至循环水管内，制冷箱对输入至循环水管内的水进行冷却降温，经过冷却降温后的水输送至冷却水管内对真空镀膜箱体内部进行冷却降温。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 设备 冷却 装置 | ||
【主权项】：
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