[实用新型]一种半导体生产用夹取装置有效

专利信息
申请号: 202122124393.5 申请日: 2021-09-04
公开(公告)号: CN215680650U 公开(公告)日: 2022-01-28
发明(设计)人: 华铁军;黄春城 申请(专利权)人: 江苏海创微电子有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687
代理公司: 安徽致至知识产权代理事务所(普通合伙) 34221 代理人: 彭迟香
地址: 224000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种半导体生产用夹取装置,包括框体和伺服电机,所述框体的内部固定安装有伺服电机,且伺服电机的输出端固定连接有转轴,所述转轴的另一端通过轴承与框体的内壁固定连接,所述框体的上侧固定连接有连接座,且连接座上侧的中心位置处安装有安装杆,所述转轴的外侧固定套接有齿轮,且齿轮的上下两端对称啮合有齿条,所述齿条的下侧固定连接有连接杆。本实用新型通过设置有夹头和防护机构,有效防止出现半导体在夹取的过程中出现损坏,从而提升本装置使用过程中的成品质量,设置有横杆和胶垫,可有效提升夹取板在使用过程中的咬合能力,即可使得夹取的过程更为牢固,从而防止出现半导体掉落现象的出现。
搜索关键词: 一种 半导体 生产 用夹取 装置
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