[实用新型]一种半导体生产用夹取装置有效
申请号: | 202122124393.5 | 申请日: | 2021-09-04 |
公开(公告)号: | CN215680650U | 公开(公告)日: | 2022-01-28 |
发明(设计)人: | 华铁军;黄春城 | 申请(专利权)人: | 江苏海创微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 安徽致至知识产权代理事务所(普通合伙) 34221 | 代理人: | 彭迟香 |
地址: | 224000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种半导体生产用夹取装置,包括框体和伺服电机,所述框体的内部固定安装有伺服电机,且伺服电机的输出端固定连接有转轴,所述转轴的另一端通过轴承与框体的内壁固定连接,所述框体的上侧固定连接有连接座,且连接座上侧的中心位置处安装有安装杆,所述转轴的外侧固定套接有齿轮,且齿轮的上下两端对称啮合有齿条,所述齿条的下侧固定连接有连接杆。本实用新型通过设置有夹头和防护机构,有效防止出现半导体在夹取的过程中出现损坏,从而提升本装置使用过程中的成品质量,设置有横杆和胶垫,可有效提升夹取板在使用过程中的咬合能力,即可使得夹取的过程更为牢固,从而防止出现半导体掉落现象的出现。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 生产 用夹取 装置 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造