[实用新型]一种用于大型真空镀膜机的移动传送工件挂板机械手有效
| 申请号： | 202122127937.3 | 申请日： | 2021-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN216274352U | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 李志荣;陈思;李运俊 | 申请（专利权）人： | 广东汇成真空科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 周克佑 |
| 地址： | 523838 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种用于大型真空镀膜机的移动传送工件挂板机械手，真空镀膜机内设有相邻的过渡舱及镀膜工艺舱，两者之间设有插板阀分隔；镀膜工艺舱内设有工艺转架，其为一个竖立的多边形柱体壳，固定在工艺转架垂直回转轴上，柱体壳侧面的每一面上设有可钩挂工件挂板的挂钩；过渡舱内设有储备工件挂板梅花转架，其固定在梅花转架垂直回转轴上，梅花转架上设有竖立的工件挂板固定架，工件挂板固定架上可钩挂工件挂板，工件贴在工件挂板外侧；固定架拉出机构，用于将工件挂板固定架沿滑轨拉出梅花转架外；移动传送工件挂板机械手，用于将工件挂板在过渡舱和工艺舱之间来回移动传送。本机械手结构简化、造价降低、使用方便、故障率低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 大型 真空镀膜 移动 传送 工件 板机 | ||
【主权项】：
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