[实用新型]一种MOCVD设备的操作箱

摘要

本实用新型公开了一种MOCVD设备的操作箱，包括操作箱体，所述操作箱体的顶部设置有吸气口，所述操作箱体的顶部固定有抽气风机和过滤装置，所述抽气风机的抽气口与吸气口联通，所述操作箱体的侧面底部设置有出气口，所述出气口与所述抽气风机的排气口之间通过连通管道联通，所述过滤装置设置于所述抽气风机的排气口和出气口之间用于过滤颗粒物，所述操作箱体内的底部设置有排气管，所述排气管与所述出气口联通。该操作箱能够进一步除尘，使箱体内的灰尘颗粒物更少。