[实用新型]一种带有蒸发孔的石墨舟

摘要

本实用新型提供一种带有蒸发孔的石墨舟，涉及硅片镀膜技术领域，包括石墨舟片，多个所述石墨舟片的前表面均开设有多个承载位，多个所述承载位的前表面均固定有隔热垫，多个所述承载位的前表面均开设有多个蒸发孔。本实用新型，隔热垫减少硅片与石墨舟片的接触面积，蒸发孔增加通风效果，达到降温的效果，防止硅片过热翘曲，同时连接多个石墨舟片的第一陶瓷杆和第二陶瓷杆通过凹槽和推杆可以调节两个石墨舟片之间的距离，在安装硅片时增加两个石墨舟片之间的距离，更加方便对硅片的放置，降低硅片被刮伤的几率，避免造成硅片的浪费。