[实用新型]一种单晶炉加料系统有效
申请号: | 202122189713.5 | 申请日: | 2021-09-10 |
公开(公告)号: | CN215713521U | 公开(公告)日: | 2022-02-01 |
发明(设计)人: | 刘杰;王鑫;黄剑雄;严斌成;沈吟青;华焱 | 申请(专利权)人: | 无锡松瓷机电有限公司 |
主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02;C30B29/06 |
代理公司: | 无锡永乐唯勤专利代理事务所(普通合伙) 32369 | 代理人: | 孙际德 |
地址: | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种单晶炉加料系统,包括加料机、加料机定位装置、波纹管及波纹管连接机构,其中:加料机上设置有出料口,出料口处设置有向外伸出出料口的加料槽;加料机支撑在加料机定位装置上,加料机定位装置用于实施对加料机的位置调整及定位;波纹管的头部设置有波纹管头部法兰,波纹管的尾部设置有波纹管尾部法兰,其中,波纹管尾部法兰连接在加料机的出料口上;波纹管连接机构用于将波纹管头部法兰连接至单晶炉加料口法兰上,加料机的加料槽穿过波纹管后将硅料加入至单晶炉内。本实用新型提供的单晶炉加料系统,加料机支撑、定位在加料机定位装置,通过加料机定位装置,能够方便地实施对加料机的位置调节。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 加料 系统 | ||
【主权项】:
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