[实用新型]一种调节成像光路夹角的改进装置有效
| 申请号： | 202122196344.2 | 申请日： | 2021-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN215729279U | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 肖燕青;王方江;符祥震;陈海巍;程珂 | 申请（专利权）人： | 江苏影速集成电路装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 张勇 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种调节成像光路夹角的改进装置，属于曝光技术领域。所述改进装置包括：DMD承载台，夹角旋转块和嵌入底座，还包括一同连接至夹角旋转块的倍率调节装置；夹角旋转块中空板的定位外圆嵌入底座的定位内圆中，夹角旋转块还包括伸长的板件(21)，板件(21)通过夹角螺杆(22)和弹性顶紧机构(23)连接，以通过调节夹角螺杆(22)而使夹角旋转块旋转。所述改进装置由于弹性顶紧机构(23)的设置，以及在夹角旋转块嵌入底座的定位外圆的圆周方向均布多个钢球(31)以限制其离心，从而在夹角调节时使得DMD承载台保持水平，保证光轴不会倾斜；并且保证上部机构不会偏离中心轴线。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调节 成像 夹角 改进 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏影速集成电路装备股份有限公司，未经江苏影速集成电路装备股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202122196344.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种新型园林种植用刷白机
- 下一篇：一种全自动缝纫台板加工设备
