[实用新型]一种硅片移载装置有效
| 申请号： | 202122204006.9 | 申请日： | 2021-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN216548435U | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 许明现;张杜超;洪昀;马胜涛;吴天祥 | 申请（专利权）人： | 东方日升（常州）新能源有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90;B65G47/74 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 郑梦建 |
| 地址： | 213200 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型请求保护的硅片移载装置，包括支撑板、伸缩驱动件、固定夹爪和活动夹爪，伸缩驱动件及固定夹爪设置于支撑板上，伸缩驱动件的移动部活动地连接有伸缩摆臂，活动夹爪能够与固定夹爪配合并形成有硅片夹腔，活动夹爪上远离硅片夹腔的部分与伸缩摆臂配合，且伸缩驱动件能够通过伸缩摆臂驱动活动夹爪作相对于支撑板的摆动，以调整硅片夹腔的大小。本实用新型工作时能够用活动夹爪与固定夹爪配合形成的硅片夹腔抓取硅片，且在抓取硅片时活动夹爪及固定夹爪仅接触硅片的侧边，从而避免因直接接触硅片表面而造成硅片表面污脏的问题产生，以此达到洁净移载硅片的目的，进而确保了产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 装置 | ||
【主权项】：
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