[实用新型]一种微电子刻蚀深度的检测装置有效
| 申请号： | 202122211692.2 | 申请日： | 2021-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN215491565U | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 付颜龙;苏华;付丽娜 | 申请（专利权）人： | 鄂尔多斯应用技术学院 |
| 主分类号： | G01B11/22 | 分类号： | G01B11/22 |
| 代理公司： | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人： | 江舟 |
| 地址： | 017000 内蒙古自治区鄂尔多斯*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种微电子刻蚀深度的检测装置，包括操作台(1)，操作台(1)的上端开有一号滑槽(2)，所述一号滑槽(2)内滑动安装有移动机构(3)，所述操作台(1)的左端中部和右端中部共同固定安装有支撑架(4)，所述支撑架(4)为U型结构，所述支撑架(4)的对立端均开有二号滑槽(5)，两个所述二号滑槽(5)之间共同滑动安装有升降机构(6)，所述升降机构(6)的上端中部穿插连接有摄像头(7)，所述升降机构(6)的上端左右两侧均穿插连接有可见光发射器(8)，所述支撑架(4)的上端固定安装有控制器(9)，且摄像头(7)和可见光发射器(8)均与控制器(9)电性连接。本实用新型所述的一种微电子刻蚀深度的检测装置，可以适应不通宽度的煤矿掘进矿道，结构简单牢固，灵活性强，安全性能高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微电子 刻蚀 深度 检测 装置 | ||
【主权项】：
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