[实用新型]一种进气装置及系统有效
| 申请号： | 202122240234.1 | 申请日： | 2021-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN215862898U | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 程磊;熊少游;付家赫 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | F17D1/04 | 分类号： | F17D1/04;F17D1/065;F17D3/01;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 柳虹 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了一种进气装置及系统，进气装置可以包括进气管路和分流管路，进气管路用于向反应腔通入反应气体，分流管路用于连接进气管路和泵出管路，泵出管路用于排出反应腔中的气体，分流管路的出口处具有引流结构，引流结构延伸至泵出管路中，且朝向泵出管路远离反应腔的一侧延伸，也就是说，分流管路可以具有朝向气体流通方向延伸的引流结构，这样分流管路中的气体在流出分流管路后，会沿着泵出管路的气体流通方向流通，而较少的附着在泵出管路的内壁上，因此减少了其在泵出管路中的成膜，减少了泵出管路的阻塞。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 系统 | ||
【主权项】：
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