[实用新型]一种石墨舟用陶瓷环及石墨舟

摘要

本申请提供一种石墨舟用陶瓷环及石墨舟，陶瓷环包括陶瓷环本体，陶瓷环本体的外壁设置有沿其周向且朝其内壁凹陷的环状凹槽；石墨舟包括多根陶瓷固定柱、多个石墨舟页以及多个陶瓷环，每个石墨舟页上设置有固定通孔，陶瓷固定柱穿过每个石墨舟页的固定通孔以固定多个石墨舟页，陶瓷环套设于陶瓷固定柱上以支撑隔离相邻两个石墨舟页。环状凹槽降低非晶硅在其内部沉积的概率，减少沉积在陶瓷环表面的非晶硅的量，并将陶瓷环本体周壁沉积的非晶硅层隔断，避免陶瓷环本体周壁沉积沿其轴向连续的非晶硅，进而降低相邻两片石墨舟页导通、短路的概率，降低石墨舟页损坏的风险，使硅片的非晶硅层的沉积能正常进行，提高硅片的良率与产能。