[实用新型]一种用于锗单晶片的简易高效吹干装置有效

专利信息
申请号: 202122289329.2 申请日: 2021-09-22
公开(公告)号: CN215893043U 公开(公告)日: 2022-02-22
发明(设计)人: 梅峰;柯尊斌;王辉;王卿伟 申请(专利权)人: 中锗科技有限公司
主分类号: F26B9/10 分类号: F26B9/10;F26B21/00;F26B25/06;F26B25/18
代理公司: 南京中律知识产权代理事务所(普通合伙) 32341 代理人: 李建芳
地址: 211299 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种用于锗单晶片的简易高效吹干装置,包括支架、引风支撑板、支撑网和热风装置;引风支撑板包括第一引风支撑板和第二引风支撑板,第一引风支撑板和第二引风支撑板平行、且相对设置,第一引风支撑板设在支架顶部、第二引风支撑板设在支架底部;第一引风支撑板和第二引风支撑板上分别设有两个以上的引风口,热风装置可向各引风口提供热风;第一引风支撑板和第二引风支撑板之间的支架上设有两层以上结构相同的支撑边框;支撑网可活动支撑在任何一层的支撑边框上,支撑网的上表面设有两个以上的环形卡环。上述装置,可同时对锗单晶片的上下两面形成吹扫烘干,提高了烘干效率和质量;易于改造和制备,成本低廉,灵活可靠,操作简单。
搜索关键词: 一种 用于 晶片 简易 高效 吹干 装置
【主权项】:
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