[实用新型]一种固晶机的取晶机械手有效
| 申请号： | 202122297669.X | 申请日： | 2021-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN216084839U | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 刘磊磊 | 申请（专利权）人： | 苏州斯尔特微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 | 代理人： | 张一鸣 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种固晶机的取晶机械手，涉及固晶机技术领域，为解决现有技术中的现有的取晶机械手大多采用单臂方式进行取晶放晶工作，工作效率低下，影响晶片放置速度的问题。所述旋转架的内部安装有滚珠丝杆，且旋转架与滚珠丝杆转动连接，所述滚珠丝杆的外侧安装有滑动块，且滚珠丝杆与滑动块通过滚珠滑动连接，所述滑动块的下方安装有动力箱，且滑动块与动力箱通过螺栓固定连接，所述动力箱的下方设置有第一取晶臂，所述第一取晶臂的内部设置有螺纹腔，所述动力箱的内部设置有滑动内腔，所述滑动内腔的内部设置有辅助杆。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固晶机 机械手 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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