[实用新型]一种掩膜版涂胶装置有效
| 申请号： | 202122351432.5 | 申请日： | 2021-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN215656162U | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 左立波;龚清华;魏辉;马小辉;蔡航;李伟;刘许霞 | 申请（专利权）人： | 合肥清溢光电有限公司 |
| 主分类号： | B05C13/02 | 分类号： | B05C13/02;B05C5/00;B05C11/08 |
| 代理公司： | 合肥律众知识产权代理有限公司 34147 | 代理人： | 殷娟 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种掩膜版涂胶装置，包括连接有旋转装置的涂胶平台，所述涂胶平台上设置有用于放置待涂胶掩膜版且连接有升降装置的升降板，所述升降板上方设置有可升降的涂胶盖板；在涂胶时，所述涂胶盖板下降至所述涂胶平台上并覆盖在待涂胶掩膜版上方，随所述涂胶平台和待涂胶掩膜版同步旋转；本实用新型的掩膜版涂胶装置，通过真空吸附的方法实现对掩膜版进行固定，然后利用旋转的方式实现涂胶，保障待涂胶掩膜版的稳定性，提高涂布膜厚的均一性；在待涂胶掩膜版上设置涂胶盖板，缩小待涂胶掩膜版上部空间大小，改善气流，避免出现大面积、大速度的空气流动问题，实现确保膜厚的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 涂胶 装置 | ||
【主权项】：
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