[实用新型]一种智能蚀刻喷液装置有效
| 申请号： | 202122398880.0 | 申请日： | 2021-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN215933646U | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 王壮;劳金鑫;付立坤;武希敏 | 申请（专利权）人： | 滨州载元裕能新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | H01M4/04 | 分类号： | H01M4/04;H01L31/18 |
| 代理公司： | 郑州翊博专利代理事务所(普通合伙) 41155 | 代理人： | 付红莉 |
| 地址： | 256200 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种智能蚀刻喷液装置，属于化工设备技术领域，包括喷淋腔，喷淋腔为下端封闭的筒状腔体，喷淋腔的上端设有可启闭的封盖，封盖下侧固定有载台，待蚀刻的基片设置在载台的下侧面，喷淋腔内设置有喷淋管，喷淋管包括周向均匀分散的若干条支管，支管向上弯曲朝向载台，喷淋管的中部通过喷淋管转动机构设置在喷淋腔的底部。本实用新型结构新颖，构思巧妙，使用方便，能够快速蚀刻出高质量的基片，生产效率高，自动化程度高，操作环境安全性能好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 智能 蚀刻 装置 | ||
【主权项】：
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