[实用新型]一种半导体废气处理装置有效
| 申请号： | 202122415492.9 | 申请日： | 2021-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN216367350U | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 杨春水;张坤;杨春涛 | 申请（专利权）人： | 安徽京仪自动化装备技术有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/76 | 分类号： | B01D53/76;B01D47/06 |
| 代理公司： | 南京匠桥专利代理有限公司 32568 | 代理人： | 王冰冰 |
| 地址： | 241000 安徽省芜*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种半导体废气处理装置，包括废气进气管路，所述处理装置还包括依次连接的反应腔、用于对反应腔排出的气体进行除尘降温的除尘降温机构、用于收集除尘降温机构排出水的水箱和用于将流经水箱并排出的废气进行喷淋二次处理的酸排筒，所述反应腔的进气口通过气体放大器与废气进气管路连接。本实用新型通过在反应腔的进气口处设置气体放大器，增加进气的流速，将废气内的粉尘带入到废气处理装置的反应腔内，使粉尘不易附着在进气口的内壁，进而使进气口不易堵塞。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 废气 处理 装置 | ||
【主权项】：
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