[实用新型]一种晶圆加工复合机器人有效
| 申请号： | 202122442191.5 | 申请日： | 2021-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN216030851U | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 黄智辉 | 申请（专利权）人： | 河南中匠机器人技术有限公司 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 深圳至诚化育知识产权代理事务所(普通合伙) 44728 | 代理人： | 刘英 |
| 地址： | 471000 河南省洛阳市中国(河南)自由贸易试*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆加工复合机器人，包括机器人主体，所述机器人主体的上端外表面设置有平衡环，所述平衡环的内壁设置有二号调节电机，所述二号调节电机的上端外表面设置有旋转辅助轴，所述旋转辅助轴与二号调节电机之间设置有固定螺栓，所述旋转辅助轴的下端外表面设置有活动气缸，所述活动气缸的外壁设置有辅助套盘，所述辅助套盘的内壁对称设置有四组硅胶管。本实用新型所述的一种晶圆加工复合机器人，设置的活动气缸，用于各个组件的安装，进而方便吸取晶圆，设置的U型放料架，用于放置待加工的晶圆，旋转辅助轴便于活动气缸的安装与旋转，辅助架杆可以保持U型放料架上下调节的平衡性，带来很好的使用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加工 复合 机器人 | ||
【主权项】：
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